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光学测量 OPTICAL MEASUREMENT
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MTL X5
机型 测量范围
Ø x L
检测部件******重量
Ø x L – 重量
分辨率
Ø – L – 旋转
精确度
Ø – L
重复性
Ø – L
尺寸
L x P x H – 重量
MTL X5 16 x 100 mm 90 x 270 mm
3 Kg
0.1 µm – 0.1 µm – 0.001° 2+D[(mm)/100] µm
5+L[(mm)/100] µm
0.4 µm
3 µm
560 x 660 x 860 mm
90 kg
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